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掃描電子顯微鏡

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2006-07-07
掃描電子顯微鏡

JEOL掃描電子顯微鏡

掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)于20世紀(jì)60年代問世,用來觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。其工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘枺俳?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹?qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。

目前掃描電鏡的分辨力為6~10nm,人眼能夠區(qū)別熒光屏上兩個(gè)相距0.2mm的光點(diǎn),則掃描電鏡的最大有效放大倍率為0.2mm/10nm=20000X。

光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較

 
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