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掃描透射電子顯微鏡(scanning transmission electron microscopy

放大字體  縮小字體 發布日期:2006-09-20
    既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡。象SEM一樣,STEM用電子束在樣品的表面掃描,但又象TEM,通過電子穿透樣品成像。STEM能夠獲得TEM所不能獲得的一些關于樣品的特殊信息。STEM技術要求較高,要非常高的真空度,并且電子學系統比TEM和SEM都要復雜。
 
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