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感光性高分子

放大字體  縮小字體 發布日期:2006-08-16
人們通常認為鹵化銀是感光材料。此外還有感光性高分子、光敏高分子。它能在光的作用下迅速發生光學反應,從而引起性質上的變化。這種變化已普遍應用于印刷、電子、涂料等工業中。感光高分子還用于制造集成電路,大規模集成電路有以微米為單位的精密圖案線條,相當于人發的幾十分之一,不可能用銅鋅板制作,而要用光敏刻蝕劑(又叫光刻膠)。用作光敏刻蝕劑的高分子材料是感光樹脂,其中之一是聚乙烯醇肉桂酸酯(它是有感光作用的功能高分子,其中的肉桂酰基是功能高分子中的功能基團)。把它涂在半導體材料(如硅片)的表面,在上面覆蓋一塊掩模板(相當于印相時用的照相底片),然后用紫外線照射曝光。受紫外線照射的肉桂酰基發生二聚反應,生成難溶性的交聯高分子,沒有受紫外線照射的部分用有機溶劑洗去刻蝕劑。根據上述原理,可以制作集成電路。
 
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