微波采用灼燒或干熱空氣滅菌，稱為干熱滅菌。雖然干燥主熱空氣的穿透力不如濕熱蒸汽強(qiáng)，但它使用方便，適用于玻璃器皿和瓷器等物的滅菌，故廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)實(shí)踐。

干熱是指相對濕度在20％以下的高熱。干熱消毒滅菌是由空氣導(dǎo)熱，傳熱效果較慢。一般繁殖體在干熱80－100℃中經(jīng)1小時(shí)可以殺死，芽胞需160－170℃經(jīng)2小時(shí)方可殺死。