當微生物被紫外線照射時，其細胞的部分氨基酸和核酸吸收紫外線，產生光化學作用，引起細胞內成分，特別是核酸、原漿蛋白、酯的化學變化，使細胞質變性，同時空氣受紫外線照射后產生微量臭氧，共同殺菌作用，從而導致微生物的死亡。